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261纳米连续激光器
国内首台瓦级连续波深紫外激光器,波长为261 nm,与市场上现有的266 nm激光器相比,具有波长短、效率高、检测分辨率高、结构紧凑、体积小、重量轻等优势,填补了国内市场空白,打破了国外垄断,解决了我国半导体缺陷检测关键光源被“卡脖子”的难题。
320纳米连续激光器
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